-
1 лазерный отжиг в режиме плавления
Automation: melt regime laser annealingУниверсальный русско-английский словарь > лазерный отжиг в режиме плавления
-
2 melt regime laser annealing
лазерный отжиг в режиме плавления (поверхностного слоя полупроводника, ПСП)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > melt regime laser annealing
См. также в других словарях:
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ — в узком, первонач. смысле восстановление под действием лазерного излучения кристаллич. структуры приповерхностных слоев полупроводников, нарушенной ионной имплантацией; открыт в 1975 в СССР [1]. Под Л. о. в широком смысле понимают структурные… … Физическая энциклопедия